本地成立世界首条工业级200毫米碳化硅晶圆开放式研发生产线,助力国内外企业研发高性能半导体材料。
新加坡科技研究局总裁马健德星期三(5月21日)在2025年东南亚半导体展(SEMICON Southeast Asia 2025)上做了上述宣布。他同时也宣布启动“晶圆厂内的实验室”项目二期工程,以及面向本地起步公司、中小企业发展先进电子设计自动化产业的EDA Garage计划。
新科研旗下微电子研究院打造的200毫米碳化硅(Silicon Carbide)晶圆开放式研发生产线,旨在促进研究人员和公司之间的碳化硅(SiC)创新合作,加强本地在宽禁带(wide bandgap)半导体研究方面的能力,并满足未来的应用需求。
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碳化硅(SiC)就是一种典型的宽禁带半导体材料。禁带是一种材料中电流流动所需的能量“门槛”,相对于硅等传统半导体材料,宽禁带半导体的“门槛”更高,更能在高温和高电压下工作,也更适合用于数据中心、汽车、航空航天等高端应用领域。
“晶圆厂内的实验室”(Lab-in-Fab),是新科研微电子研究院,意法半导体(STMicroelectronics)和日本制造工具供应商ULVAC合作,在2020年共同建立和运营的一条专注于200毫米压电式微机电系统(Piezo MEMS)的研发线。
压电微机电系统(piezoMEMS)广泛应用于传感器、执行器和能量采集设备,以实现精密检测和控制。项目第二阶段的合作伙伴包括新科研材料研究与工程研究院和新加坡国立大学。